产品特色  Product Feature

一体化检测头和扫描台系统，包含激光检测头、XYZ扫描器、样品台、Z向自动逼近马达装置于完全一体。激光检测头和样品台完全固定在一起工作，激光检测头不可手动拆卸，跟样品台不可分离。

金相显微镜和纳米级形貌成像仪一体式设计，同时具备光学显微镜和纳米级形貌成像仪的成像功能。

可同时进行光学成像二维测量和纳米级形貌成像仪三维测量，两者可以同时工作，真正实现原位检测，相辅相成互不影响。光学物镜可以从5倍~50倍之间任意切换，均可以与纳米级形貌成像仪同时成像。

大范围高精度的三轴压电陶瓷扫描器，智能自动垂直进针方式，线性马达自动逼近，连续逼近或步进逼近；采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，单轴驱动样品自动垂直接近探针，不是三轴驱动的进针方式，不是驱动探头探针升降趋近的方式。

采用无限远光学系统。23mm超大视野平场目镜10X和22mm十字分划目镜10X，双目适度角度和屈光度均可调。

配置三目正像观察头， 10.1寸一体式显示屏工业相机，500万像素CMOS传感器，配合目镜可同时工作。显示屏自带嵌入式系统，可直接操作，无需连接电脑。具有实时拍照、录像、测量等各种基本功能。

采用“XY比率”技术，支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速、32倍速快速扫描功能。

集成压电陶瓷扫描器硬件非线性校正用户编辑器和电子学控制器自动校正功能，纳米表征和测量精度可达到或优于98%。

控制器内置TI的DSP处理器，嵌入式PID自整定智能调节器，无需手动设置，系统自动整定优化参数；采用高速USB通讯接口，完全实现采样点的高实时性和时间间隔的准确性，确保通讯的高稳定和数据的可靠性。